專業(yè)高精密新型3D測量顯微鏡-多行業(yè)專用
概述:產(chǎn)品介紹:東莞市歐準(zhǔn)特儀器有限公司
3D測量顯微鏡,是同時具有高精度線性測量和觀察功能的多功能檢測儀器,廣泛用于LED照明,半導(dǎo)體,顯示屏,微電子器件等產(chǎn)品進行詳細檢測,主體機構(gòu)通過搭配不同的鏡筒、照明裝置、升降機構(gòu)、物鏡及對焦機構(gòu)的選擇,組成多款不同系列的機型,完全按測量要求訂購設(shè)備。東莞市歐準(zhǔn)特儀器有限公司
模塊化設(shè)計,兩款經(jīng)典機身供選擇隨心所欲加裝不同鏡
頭組及照明系統(tǒng);
擁有優(yōu)越的光學(xué)性能和超高測量精度,搭配主體的操作平衡性,讓之前不可見的幾乎不可見的物件可觀察,可測量:
次微米精度,出色的多功能性,更適合高性能零件,電子組件的三維測量;
可輕易測量易碎工件儀具有極小細節(jié)的工件;
視場廣闊,可得清晰正像,可選配多種CCD攝像機輸出圖像檢測;
照明裝置(反射,投射),可選用高亮度LED的照明或鹵素照明;
快速釋放裝置便于測量大工件或多個數(shù)量工件時快速移動工作臺,Z軸兩側(cè)均同軸粗/微調(diào)手輪,確保能以最快速度實現(xiàn)高精度對焦。
技術(shù)參數(shù):東莞市歐準(zhǔn)特儀器有限公司
產(chǎn)品型號
0ZT-1510T
OZT-2010T
0ZT-300/400/500非標(biāo)定制
測量范圍mm
150*100
200*100
按要求定制
各種測量范圍的機型
Z軸電動或Z軸測量
CNC大行程機型定制等
玻璃臺面尺寸mm
160*60
260*160
工作臺面尺寸mm
260*160
360*260
外形尺寸L*H*Wmm
480*750*720
580*750*720
機器重量KG
30
70
鏡筒/圖像
可選擇單目或雙目鏡筒,帶有標(biāo)準(zhǔn)的TV攝像機端口,圖像:正像/反像
測量方法
明場、暗場、偏光或微分干涉對比觀測;輔助對焦系統(tǒng):
目鏡
10X(視場直徑:25mm或22mm),可選十字分板割
物鏡
95mm:2x.5x.10x.20x.50x(100選配)或60mm:5x,10x,20x,50x,100x
明視場
所有Plan FLUOR EPI/Plan FLUOR EPI SL系列鏡頭
暗視場
所有Plan FLUOR EPI-BD系列鏡頭
調(diào)焦系統(tǒng)
粗微調(diào)同軸,左右手柄(粗調(diào):40mm/圈、微調(diào):0.02mm/圈)
照明裝置
投射:白色LED照明,無極亮度可調(diào);反射:內(nèi)置孔徑光闌、無極亮度可調(diào)、5W LED光源
數(shù)字計數(shù)器
0.001mm/0.0005/0.0001mm(可選配)
測量精度(μm)
X-Y≤(2.5+0.02L)μm L為被測長度(單位:mm)
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新型3D測量顯微鏡:
產(chǎn)品介紹:東莞市歐準(zhǔn)特儀器有限公司
3D測量顯微鏡,是同時具有高精度線性測量和觀察功能的多功能檢測儀器,廣泛用于LED照明,半導(dǎo)體,顯示屏,微電子器件等產(chǎn)品進行詳細檢測,主體機構(gòu)通過搭配不同的鏡筒、照明裝置、升降機構(gòu)、物鏡及對焦機構(gòu)的選擇,組成多款不同系列的機型,完全按測量要求訂購設(shè)備。東莞市歐準(zhǔn)特儀器有限公司
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模塊化設(shè)計,兩款經(jīng)典機身供選擇隨心所欲加裝不同鏡
頭組及照明系統(tǒng); - 擁有優(yōu)越的光學(xué)性能和超高測量精度,搭配主體的操作平衡性,讓之前不可見的幾乎不可見的物件可觀察,可測量:
- 次微米精度,出色的多功能性,更適合高性能零件,電子組件的三維測量;
- 可輕易測量易碎工件儀具有極小細節(jié)的工件;
- 視場廣闊,可得清晰正像,可選配多種CCD攝像機輸出圖像檢測;
- 照明裝置(反射,投射),可選用高亮度LED的照明或鹵素照明;
- 快速釋放裝置便于測量大工件或多個數(shù)量工件時快速移動工作臺,Z軸兩側(cè)均同軸粗/微調(diào)手輪,確保能以最快速度實現(xiàn)高精度對焦。
技術(shù)參數(shù):東莞市歐準(zhǔn)特儀器有限公司
產(chǎn)品型號 |
0ZT-1510T |
OZT-2010T |
0ZT-300/400/500非標(biāo)定制 |
測量范圍mm |
150*100 |
200*100 |
按要求定制 各種測量范圍的機型 Z軸電動或Z軸測量 CNC大行程機型定制等 |
玻璃臺面尺寸mm |
160*60 |
260*160 |
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工作臺面尺寸mm |
260*160 |
360*260 |
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外形尺寸L*H*Wmm |
480*750*720 |
580*750*720 |
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機器重量KG |
30 |
70 |
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鏡筒/圖像 |
可選擇單目或雙目鏡筒,帶有標(biāo)準(zhǔn)的TV攝像機端口,圖像:正像/反像 |
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測量方法 |
明場、暗場、偏光或微分干涉對比觀測;輔助對焦系統(tǒng): |
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目鏡 |
10X(視場直徑:25mm或22mm),可選十字分板割 |
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物鏡 |
95mm:2x.5x.10x.20x.50x(100選配)或60mm:5x,10x,20x,50x,100x |
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明視場 |
所有Plan FLUOR EPI/Plan FLUOR EPI SL系列鏡頭 |
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暗視場 |
所有Plan FLUOR EPI-BD系列鏡頭 |
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調(diào)焦系統(tǒng) |
粗微調(diào)同軸,左右手柄(粗調(diào):40mm/圈、微調(diào):0.02mm/圈) |
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照明裝置 |
投射:白色LED照明,無極亮度可調(diào);反射:內(nèi)置孔徑光闌、無極亮度可調(diào)、5W LED光源 |
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數(shù)字計數(shù)器 |
0.001mm/0.0005/0.0001mm(可選配) |
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測量精度(μm) |
X-Y≤(2.5+0.02L)μm L為被測長度(單位:mm) |




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