微型氣體流量計,氧氣氮氣空氣氫氣小氣體測量流量計,廣州流量計 

    概述:微型氣體流量計,氧氣氮氣空氣氫氣小氣體測量流量計,廣州流量計

    刷新時間:
    2025-04-06 15:35:53 點擊6287次
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    • 1000 元
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    • 5000
    品牌:
    • 湛儀科技
    型號:
    • FS4001
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    FS4001小流量氣體質量流量傳感器

    產品簡介:FS4001小流量氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這系列傳感器均采用本公司自主研發的微機電系統(MEMS)流量傳感芯片來制作,適用于各類清潔氣體。封裝技術使之可用于各類管徑,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償,可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器。

    產品特點:

      - 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量

      - 傳感器芯片采用熱質量流量計量,無需溫度壓力補償,傳感器計量

      - 在單個芯片上實現了多傳感器集成,使傳感器的量程比提高

      - 傳感器的零點穩定度高

      - 全量程高穩定性

      - 全量程和優良的重復性

      - 低功耗

      - 低壓損

      - 響應時間快

    主要參數:

    性能參數

    FS4001

    單位

    通 徑

    1.0

    1.8

    mm

     大流量

    30, 100, 200

    500, 1000

    SCCM

    量程比

    ≥100:1

     

    精 度

    ±(1.5+0.2FS)

    %

    重復性

    0.25

    %讀數

    零點輸出飄移

    ±30

    mV

    輸出飄移

    ±0.12

    %/oC

    響應時間

    4, 8, 16, 33 , 65 , 131

    mses

    工作電源

    8~18Vdc,50mA

     

    輸出方式

    線性,RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc

     

     大流量壓損

    350

    300

    pa

     大工作壓力

    0.5

    MPa

    工作溫度

    -10 ~ +55

    oC

    存儲溫度

    -20 ~ +65

    oC

    工作濕度

    <95%RH(無結冰、無凝露)

     

    機械接口

    可拆式軟管接頭

     

    校準方式

    空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa

     

    重量

    15

    g

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