激光橢偏儀針對晶硅太陽能電池絨面上的減反膜測量 

    概述:[中介]多角度激光橢偏儀(PH-LE型)專門針對晶硅太陽能電池絨面上的減反膜測量,能夠測量薄膜厚度及其光學常數,使用632.8nm波長氦氖激光器,具有極高的精確度和準確度。

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    多角度激光橢偏儀(PH-LE型)專門針對晶硅太陽能電池絨面上的減反膜測量,能夠測量薄膜厚度及其光學常數,使用632.8nm波長氦氖激光器,具有極高的精確度和準確度。



    多角度激光橢偏儀 - 產品特點

    ■ 可以測量單晶電池片、多晶電池片
    ■ 可以測量拋光片,精確度和準確度極高
    ■ 可以測量粗糙表面的“絨片”
    ■ 適用于對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的低反射光強進行測量
    ■ 可對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的退偏因數(偏振因數)進行測量和評估,提高測量精度
    ■ 配置有高穩定度補償器,提供最小的漂移值和最小的測量誤差
    ■ 配置有高精度的自動光學對準顯微鏡
    ■ 可進行20°-90°范圍內的多角度測量



    多角度激光橢偏儀 - 測量特點

    ■ 非破環性檢測
    ■ 樣品準直簡單方便
    ■ 測量速度快
    ■ 可變入射角范圍寬
    ■ 絕對測量
    ■ 軟件分析功能強



    多角度激光橢偏儀 - 技術指標

    ■ 光源:He-Ne激光器
    ■ 光斑直徑:1-2mm
    ■ 入射角范圍:20°到90°,5°/步
    ■ 精度:0.002°~ 0.02°
    ■ 膜厚精度:0.01mm,對100nmSiO2on Si
    ■ 折射率精度:0.0005,對100nmSiO2on Si
    ■ 激光光斑:直徑1mm
    ■ 激光波長632.8 nm
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