光譜橢偏儀全自動 

    概述:[中介]全自動光譜橢偏儀(PH-ASE型)把使用者從煩瑣的手動調節樣品高度和傾斜度工作中解放出來,樣品對準是為了保證橢偏儀測量的可重復性和精確性。已獲得專利的自動樣品對準裝置能夠顯著減少操作失誤;能夠工作于

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    全自動光譜橢偏儀(PH-ASE型)把使用者從煩瑣的手動調節樣品高度和傾斜度工作中解放出來,樣品對準是為了保證橢偏儀測量的可重復性和精確性。已獲得專利的自動樣品對準裝置能夠顯著減少操作失誤;能夠工作于透明或反射基底;能夠進行地貌圖測量,包括翹曲晶片。



    全自動光譜橢偏儀 - 產品特點

    ■ 全自動樣品校準
    ■ 高測量速率 < 8秒
    ■ 消除了全波段范圍內的盲點
    ■ 可測量透明和吸收基底
    ■ 高測量精度
    ■ 具有實驗數據和模擬數據三維繪圖功能
    ■ 友好的軟件界面,強大數據分析功能
    ■ 具有實驗數據和模擬數據三維繪圖功能



    光譜橢偏儀 - 技術指標

    ■ 光源:氙燈
    ■ 光斑直徑:1-3mm
    ■ 入射角范圍:20°到90°自動控制
    ■ 波長范圍:350-850nm, 250-1100nm, 250-1700nm:0.002°~ 0.02°
    ■ 波長精度:1nm
    ■ 測量時間: < 8s (取決于測量模式和粗糙度)
    ■ 入射角度精度:0.01




    光譜橢偏儀 - 可選配

    ■ CCD線陣列探測元件:200-850nm,350-1000nm
    ■ 樣品顯微鏡
    ■ 高穩定性消色差補償器
    ■ 透射測量架
    ■ XY移動樣品臺
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