SiC晶種籽晶碳化硅長晶晶片襯底半導(dǎo)體專用籽晶 

    概述:碳化硅籽晶晶種

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    2025-04-03 10:57:52 點(diǎn)擊86001次
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    產(chǎn)品介紹:


           SiC的物理和電學(xué)屬性使其成為短波長光電、高溫、耐輻射、高功率/高頻率電子器件的首選半導(dǎo)體材料。然而生長優(yōu)質(zhì)的SiC單晶非常困難,其中第一要素就取決于SiC晶種的品質(zhì)。晶種的類型、表面性質(zhì)和吸附變化極大地影響著SiC晶體的生長類型、缺陷結(jié)構(gòu)以及電學(xué)性質(zhì)等等。


           合能陽光提供的SiC晶種,可充分滿足不同需求的客戶,優(yōu)質(zhì)的晶種品質(zhì)為客戶SiC長晶的成品率與晶片質(zhì)量提供了可靠的保障。


    標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)參數(shù):


    型號:4H-N/Si  6H-N/Si


    等級:工業(yè)級   研究級


     直徑:2寸  4寸 
    6寸


     厚度:330 μm±25μm   500μm±25μm  


     晶片方向:Off axis : 4.0° toward<1120> ±0.5° for 4H-N  On axis : <0001>±0.5° for 4H-Si


    微管密度: ≤ 5 cm -2


    電阻率范圍:0.0015-0.1Ω·cm


    主定位邊方向:{10-10}±5.0°


    次定位邊方向:Silicon
    face up: 90° CW. from Prime flat ±5.0°


    邊緣去除:2mm


    局部厚度變化/彎曲度/翹曲度:≤ 4μm/ ≤ 10μm / ≤ 25μm / ≤ 35μm


    表面粗糙度 :拋光Ra ≤ 1 nm  清洗 Ra ≤ 0.5 nm


    裂紋(強(qiáng)光觀測):無       


    六方空洞(強(qiáng)光燈觀測):面積 ≤ 0.05%


    多型(強(qiáng)光燈觀測):無


    目測包裹物(日光燈觀測):面積 ≤ 0.05%


    劃痕(強(qiáng)光燈觀測): 無


    崩邊:無


    表面污染物(強(qiáng)光燈觀測):無


    包裝:真空盒裝                  


     


    典型客戶:

    美國,歐洲,亞洲及國內(nèi)SiC晶體生產(chǎn)和襯底企業(yè)。
    SiC晶種籽晶碳化硅長晶晶片襯底半導(dǎo)體專用籽晶
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