TigerOptics水分分析儀HALO-RP 

    概述:HALO 水分測定儀為用戶提供了無以倫比的準(zhǔn)確性、可靠性、響應(yīng)速度,而且易于操作。HALO 水分測定儀采用了 TigerOptics 專利一個非常全面和經(jīng)濟的分析儀設(shè)計 ~(CRDS)光腔振蕩衰減光譜微量氣體定量分析

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    深圳市廣思科技有限公司  施漢鑌先生:18814366140

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    HALO 水分測定儀為用戶提供了無以倫比的準(zhǔn)確性、可靠性、響應(yīng)速度,而且易于操作。HALO 水分測定儀采用了

    TigerOptics 專利一個非常全面和經(jīng)濟的分析儀設(shè)計 ~(CRDS)光腔振蕩衰減光譜微量氣體定量分析。這個多功能分析儀,
    只需一臺設(shè)備,允許用戶測量惰性氣體,腐蝕性和有毒氣體中的水分。用戶無需間接周期傳感器的維護(hù)程序,無需量程校
    正,無需凈化器更換和無需泵重建。HALO-H2O-RP 不同于HALO-H2O,它集成了一個上游壓力控制器,允許在應(yīng)用程
    序中,樣品壓力范圍從50 托 - 15psig 的操作。這些應(yīng)用程包括半導(dǎo)體晶圓處理、廢氣排出氣體監(jiān)測。

    運作范圍:0-20 ppm 測量下限:2 ppb 外形尺寸(高x 寬x 深):8.75″ x 8.5″ x 22.5″
    靈敏度: 1 ppb 重量: 15 千克(33 磅)
    精度(取大值):讀數(shù)的±4%或±1ppb
    響應(yīng)速度: 95%的響應(yīng) 少于3 分鐘
    環(huán)境溫度:+10°C ~ +40°C
    存儲溫度:-10°C ~ +50°C

    所用材料: 316L 不銹鋼(可選哈氏合金) 壓力:50 torr -15 psig
    接液部件: 10 Ra 流量:可達(dá)1,000 sccm
    氣體的連接:1/4” VCR 入氣口及出氣口 氣體樣本: 氨、砷化氫、膦、或惰性氣體
    泄漏測試:< 2×10-8 mbar・l/min 氣體溫度:低于60°C
    警報指示燈: 用戶設(shè)置 認(rèn)證 : CE: LVD & EMC
    電源電壓: 90-240 VAC, 50/60 Hz 測量原理:(CRDS)光腔振蕩衰減光譜
    消耗功率:40W 以下 特許: 美國專利#5528040, 其他專利申請中
    輸出信號:記錄: 0-5 VDC / 4-20mA 隔離
    通信: RS-232(可選無線)
    用戶界面:5.6“LCD 觸摸屏, 10BaseT Ethernet,RS-232/422

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