白光干涉儀測(cè)薄膜表面起伏 

    概述:各種光學(xué)鏡片和玻璃等超精密加工產(chǎn)物,其表面質(zhì)量等級(jí)非常高。如果采用接觸式的輪廓儀,會(huì)劃傷器件表面,而一般的非接觸式光學(xué)影像方法,也沒(méi)有辦法克服它的高透明度特性。用光學(xué)干涉原理研制成的中圖儀器

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    各種光學(xué)鏡片和玻璃等超精密加工產(chǎn)物,其表面質(zhì)量等級(jí)非常高。如果采用接觸式的輪廓儀,會(huì)劃傷器件表面,而一般的非接觸式光學(xué)影像方法,也沒(méi)有辦法克服它的高透明度特性。用光學(xué)干涉原理研制成的中圖儀器的SuperView W1白光干涉儀,為玻璃和光學(xué)鏡片的表面質(zhì)量提供了標(biāo)準(zhǔn)解決方案。

    玻璃表面臺(tái)階檢測(cè)

    透明玻璃表面鍍的一層金屬膜,因?yàn)槠浞峭该魈匦裕∧y(cè)厚儀沒(méi)有辦法測(cè)膜層厚度。況且膜層厚度的精度是在納米級(jí)別的,不管是非接觸式光學(xué)儀器還是接觸式臺(tái)階儀,都存在測(cè)量誤差,而中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1白光干涉儀的測(cè)量精度達(dá)到亞納米級(jí),可以對(duì)膜層厚度進(jìn)行一鍵測(cè)量。

    儀器軟件對(duì)兩臺(tái)階高的檢測(cè)


    光學(xué)透鏡檢測(cè)
    球面透鏡在可見(jiàn)光領(lǐng)域是一種基礎(chǔ)光學(xué)器件,其光的傳播效果受曲率半徑和表面粗糙度的影響,中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀可以對(duì)這兩項(xiàng)參數(shù)同時(shí)進(jìn)行檢測(cè)。

    某型號(hào)雙膠合透鏡的曲率半徑和表面粗糙度檢測(cè)


    SuperViewW1白光干涉儀適合檢測(cè)的樣品按領(lǐng)域分為消費(fèi)電子類、半導(dǎo)體封裝、超精密加工(機(jī)械、光學(xué))、微納材料這四個(gè)大的領(lǐng)域。超精密加工這個(gè)行業(yè)覆蓋面比較廣,包括航空航天上用到精密零部件,包括金屬、陶瓷片和石英制的精密器件,大多數(shù)由于要求在檢測(cè)過(guò)程中不能劃傷器件表面,因此在檢測(cè)方式上需要采用非接觸式的方式,因而需要用白光干涉儀這類儀器。

    白光干涉儀測(cè)薄膜表面起伏
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