超高精度影像測量儀VIEW Precis 200 

    概述: 全新的Precis 200 是基于Micro-Metric的Innova晶圓量測系統(tǒng)開發(fā)而來,集成了VIEW最先進的設(shè)計和技術(shù)。新的PRECIS包括許多可配置的選項,使該系統(tǒng)更加通用、實用和可靠: 擴展Z軸范圍-2.5mm,5mm或

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    全新的Precis 200 是基于Micro-Metric的Innova晶圓量測系統(tǒng)開發(fā)而來,集成了VIEW最先進的設(shè)計和技術(shù)。新的PRECIS包括許多可配置的選項,使該系統(tǒng)更加通用、實用和可靠:

    擴展Z軸范圍-2.5mm,5mm或100 mm.

    透射照明

    完整電子繪圖 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 標準。

    符合人體工程學(xué)的操作員控制臺 ,帶有隱藏鍵盤托盤, 可調(diào)節(jié)高度和角度的控制面板和顯示器,符合SEMI S8

    全自動程序控制顯微鏡頭

    兆像素分辨率攝像頭

    VIEW Metrology Software (VMS™) 可以測量的零件類型很廣泛, 可選CAD導(dǎo)入 以及完整的幾何尺寸和公差判定。

    MMWin – Wafer和Mask測量軟件 –晶圓的重要尺寸和迭置重合測量, slider ABS,光掩模和平板顯示器。

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