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用塵埃粒子計數囂檢測高效過濾器是否有泄漏現象,來避免高效空氣過濾器泄漏而影響到整個的生產。主要是檢測各點的懸浮粒子是否超出潔凈區要求的范圍,如果是則有泄漏現象,需堵漏或更換。這也是比較簡單準確的的操作方法。高效過濾器安裝或更換后,必須對過濾器的安裝連接處進行檢漏,以確保潔凈室的潔凈度符合要求。
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